Keithley 4200A-SCS parametrisk analysatorsystem

Översikt

Keithley 4200A-SCS är ett omfattande parametriskt analysatorsystem utformat för halvledarenhetskarakterisering, som kombinerar DC I-V-, kapacitans-spänning (C-V)- och ultrasnabb pulsad I-V-mätningskapacitet på en enda plattform. Systemet integreras med automatiserade wafer-probrar och kryogeniska temperaturkontroller för kompletta enhetstestarbetsflöden inom forskning, tillförlitlighet och enhetsutvecklingstillämpningar.

Nyckelfunktioner

• Synkroniserade DC I-V-, C-V- och pulsad I-V-mätningar i ett system
• 4215-CVU kapacitansmodul med 1 V AC-källa, 1 kHz till 10 MHz frekvensomfång, enfemtofarads upplösning
• 4200A-CVIV Multi-Switch för automatisk kanalbyte utan omkoppling eller probblyft
• Modulär SMU (källmätenhet) arkitektur med upp till 9 kanaler för lågarströmmätning till femtoampere
• Clarius-programvara-plattform med hundratals förkonfigurerade applikationstester och realtidsparameterextrahering
• Fältinstallerbar moduler och valfria förförstärkare för mätningsflexibilitet
• Full integration med MPI-, Cascade Microtech- och andra wafer-probersystem

Tillämpningar

• Halvledarenhet-parameterextrahering och felanalys
• Wafer-nivå och paketerad enhetkarakterisering
• Processuveckling och avkastningsförbättringsstudier
• Material-karakterisering och tillförlitlighetstestning
• Kryogenisk temperaturenhetstestning och analys